НИОБИЙ МАГНЕТРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ
Haohai является профессиональным производителем ниобия распыления целей с различной формы и чистоты, которые главным образом применяются к полу токопроводящих, микро электроники промышленности, большая площадь покрытия стекла и оптической промышленности. Из-за специальных процессов формирования, которые мы использовали наши цели распыления ниобия обладают более высокой плотности, тонкой зернистости, а также высокой чистоты, в результате вы можете воспользоваться более быстрый процесс из-за более высокой скорости распыления и получить очень однородны ниобия слоев для применения тонких пленок.
Haohai ниобия распыления целей включают ниобия монолитные вращающийся распыления целей, ниобия планарной распыления целей и ниобий катодного целей.
Ниобий монолитные цилиндрические (поворотные, вращающийся) магнетронное напыление
Производственный диапазон
OD (мм) |
Идентификатор (мм) |
Длина (мм) |
Изготовленные на заказ |
50 - 300 |
30 - 280 |
100 - 4000 |
Спецификация
Композиция |
NB |
Чистота |
3Н (99,9%), 3.5N (99,95%), 4N (99,99%) |
Плотность |
8.58 г/см3 |
Размер зерна |
andlt; 80 мкм или по запросу |
Процессы изготовления |
Электронный луч плавления (EB),Ковка, экструзия, Механическая обработка |
Форма |
Прямой, собаки кость |
Типы конечных |
SCI, СРР, DSF, RFF, ВФФ,VA, GPI заканчивается фиксации, спиральные канавки, изготовленные на заказ |
Поверхность |
RA 1.6 микрон или по запросу |
Другие спецификации
✦Пара обезжиривают и размагничиванию после окончательной обработки
✦Идентификатор, чтобы быть ЗАТОЧЕННЫЙ и ОД ЗЕМЛИ после того, как сырой трубки производится для обеспечения ID OD концентричность отвечает требованиям чертежа.
✦Высокий вакуум туго, скорость утечки в любом месте не должен превышать 1 x 10-8STD CC/СЕК.
✦Запечатанный в пластик, завернутые в пены для защиты и ограничен для защиты уплотнения поверхностей
Нормальные размеры
Ниобий роторные Распыления целевой |
Нормальные размеры |
55 мм ID x 70 мм OD x 1334 мм длиной ID 80 мм x 100 мм OD x Long 125 мм ID x 153 мм OD x 576 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 800 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 895 мм длиной 125 мм ID x 155 мм OD x 895 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 1172 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 1676 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 1940 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 1994 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 2420 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 3191 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x 3582 мм длиной 125 мм ID x 153 мм OD x Long 125 мм ID x 180 мм OD x 624 мм длиной 194 мм ID x 219 мм OD x 2301 мм длиной |
По сравнению с планарной конфигураций, Haohai цилиндрические распыления цели предлагают:
✦Более крупные зоны эрозии, которые обеспечивают 2-2,5 раза использования материала.
✦Дольше, цель жизни, которая снижает частоту простоя для changeouts и камеры.
✦Изготовление на заказ в монолитной, сегментированный или тепловой спрей форматов.
✦В конце функции, точностью для отдельных катода системы конструкций.
✦Снизить стоимость владения для большой площади покрытия операций.
✦Разнообразие материалов, в том числе.
✦Оптимальная зернистость и равномерное микроструктуры обеспечивают производительность последовательного процесса путем полного конца жизни.
✦Полная однородность и высокой чистоты производят последовательное освещение.
✦Возможность поставлять материалы любого размера операции от Randamp; D до полномасштабного производства.
Ниобий Планар (прямоугольник, циркуляр) магнетронное напыление
Производственный диапазон
Прямоугольник |
Длина (мм) |
Ширина (мм) |
Толщина (мм) |
Изготовленные на заказ |
10 - 2000 |
10 - 800 |
1.0 - 25 |
||
Циркуляр |
Диаметр (мм) |
Толщина (мм) |
||
10 - 1000 |
1.0 - 50 |
Спецификация
Композиция |
NB |
Чистота |
3Н (99,9%), 3.5N (99,95%), 4N (99,99%) |
Плотность |
8.58 г/см3 |
Размер зерна |
andlt; 80 мкм или по запросу |
Процессы изготовления |
Электронно-лучевые(EB) Плавление, Ковки, прокатки, Механическая обработка |
Форма |
Пластины, диск, шаг, изготовленные на заказ |
Типы |
Монолитные, многосегментную целевой |
Поверхность |
RA 1.6 микрон или по запросу |
Другие спецификации
Мы заботимся же направление зерна в многосегментную строительных деталей.
Ровность, чистой поверхности, полированный, без трещин, масла, точка, и др.
Ниобий дуги катодов
Мы поставляем поворотные и плоской дуги катодов, а также ротационные и плоские распыления целей
Для ниобий магнетронное напыление и дуги катодов
Допуск
Согласно чертежам или запроса.
Содержание примесей (wt %)
Применение
✦Большая площадь покрытия из стекла
✦Дисплей промышленности