Нажмите на изображение, чтобы проверить, художественное произведение
КРЕМНИЙ МАГНЕТРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ
Haohai предлагает кремния ионным напылением от цели, бора допированном кремния распыления целевой для тонких пленок и покрытий приложений, таких как оптические, большая площадь стекла покрытие (Low-E) для архитектуры, Автомобильные стекла, коснитесь панели стекла (AR).
HaohaiКремнийРаспыления целей включаютКремнийВращающийся распыления целей иКремнийплоские распыления целей.
Кремний вращающийся (поворотные, цилиндрические) магнетронное напыление
Производственный диапазон
OD (мм) |
Идентификатор (мм) |
Длина (мм) |
Изготовленные на заказ |
80 - 160 |
60 - 125 |
100 - 4000 |
Спецификация
Композиция |
Si |
Чистота |
3Н (99,9%) |
Плотность |
2,33 г/см3 |
Размер зерна |
andlt; 150 мкм или по запросу |
Процессы изготовления |
Литье, ГЭС, плазменного напыления, Механическая обработка |
Форма |
Прямой, собаки кость |
Типы конечных |
SCI, СРР, DSF, RFF, ВФФ, VA, GPI концы фиксации, спиральные канавки, Изготовленные на заказ для SS бэк-трубки |
Поверхность |
RA 1.6 микрон |
Другие спецификации
✦Пара обезжиривают и размагничиванию после окончательной обработки.
✦Идентификатор, чтобы быть ЗАТОЧЕННЫЙ и ОД ЗЕМЛИ после того, как сырой трубки производится для обеспечения ID OD концентричность отвечает требованиям чертежа.
✦Высокий вакуум туго, скорость утечки в любом месте не должен превышать 1 x 10-8STD CC/СЕК.
✦Запечатанный в пластик, завернутые в пены для защиты и ограничен для защиты уплотнения поверхности.
Кремний плоский (прямоугольник, циркуляр) магнетронное напыление
Производственный диапазон
Прямоугольник |
Длина (мм) |
Ширина (мм) |
Толщина (мм) |
Изготовленные на заказ |
10 - 2000 |
10 - 300 |
5.0 - 40 |
||
Циркуляр |
Диаметр (мм) |
Толщина (мм) |
||
5.0 - 300 |
5.0 - 40 |
Спецификация
Композиция |
Si (легированные бором) |
Чистота |
3Н (99,9%),4N (99,99%), 5N (99.999%) |
Плотность |
2,33 г/см3 |
Размер зерна |
andlt; 150 мкм или по запросу |
Процессы изготовления |
Литье, Механическая обработка, склеивание |
Форма |
Многосегментную цель, склеивание на бэк-Cu пластины |
Типы |
Пластины, диск, шаг вниз скрепляя болтами, резьбы, на заказ |
Поверхность |
RA 1.6 микрон |
Другие спецификации
Ровность, чистая гладкая поверхность, полировка, без трещин, масла, точка, и др.
Отличные conductions, небольшой линейный коэффициент расширения и хорошая термостойкость.
Для Haohai кремния распыления целей
ToleranCE
Согласно чертежам или по запросу.
Производство распыления целей из нелегированный или бора, легированный кремния включает CZ рост слитков с отжига, материальный анализ, резки и механической обработки.
Пластины и связи службы
Haohai обеспечивают многие стандартные OFHC медные пластины для коммерчески доступных распыления и катодно-дугового осаждения систем, а также нестандартные конструкции. Доступен как металлических, так и эпоксидной склеивание кремния плитки.
Содержание примесей [ppm]
Содержание кремния [ppm] |
Si |
|
Чистота [%] |
99.9 |
|
Металлические примеси [ppm] |
Al |
500 |
CA |
25 |
|
CR |
30 |
|
Cu |
50 |
|
Fe |
150 |
|
MN |
20 |
|
Ni |
30 |
|
Неметаллических примесей [ppm] |
N |
300 |
O |
6000 |
|
Удельное сопротивление [ohm.cm] 20℃ |
